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樣品支架用于放置待測樣品，探頭架設于位移臺，位移臺由2組位移機構構成，電機控制器分別控制2組位移臺移動至設定位置，實現樣品掃描，其中X、Y軸位移臺用于樣品掃描，Z軸位移臺用于探頭調焦，以實現不同厚度樣品測量，位移臺可實現太赫茲系統對樣品透（反）射成譜、成像。
長行程三維掃描位移臺TA-SL1，三維層析成像費飛行時間3D掃描位移臺透射反射無損檢測長行程高精度